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Proposition of atomic force probes based on silicon ring-resonators
14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers'07, 2007, Proceedings of the 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers'07, IEEE, Piscataway, NJ, USA, 2007Communication dans un congrès avec actes -
Dispositif de résonance micro-électromécanique à structure périodique
FR2929774 (A1), 09-10-2009Brevet -
Ultra-low voltage MEMS resonator based on RSG-MOSFET
2006, Proceedings of the 19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2006, IEEE, Piscataway, NJ, USA, 2006Communication dans un congrès avec actes -
Résonateur électromécanique et procédé de fabrication d'un tel résonateur
FR2857952 (A1), 28-01-2005Brevet -
A new four states high deflection low actuation voltage electrostatic MEMS switch for RF applications
Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2008, 2008, Proceedings of the 2008 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2008, _, 2008 -
MEMS electromechanical resonators for RF applications
16ème Forum de l'Interconnexion et du Packaging Microélectronique, INTERCONEX 2006, Besançon, 2006 -
Microsystème électromécanique comprenant une poutre se déformant par flexion
FR2883560 (A1), 29-09-2006Brevet -
Microrésonateur
FR2881416 (A1), 04-08-2006Brevet -
A design for 24GHz SPDT using a single RF MEMS switch based on a totally free flexible membrane
8th International Symposium on RF MEMS and RF Microsystems, MEMSWAVE 2007, 2007, Proceedings of the 8th International Symposium on RF MEMS and RF Microsystems, MEMSWAVE 2007, _, 2007Communication dans un congrès avec actes -
Simulation and optimization of a totally free flexible RF MEMS switch
Journal of Micromechanics and Microengineering, IOP Publishing, 2009, 19, 074017-1-9Compte-rendu et recension critique d'ouvragefulltext