Atomic Layer deposition of thin films ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Conférence invitée
Permalink :
Title :
Atomic Layer deposition of thin films materials for 3D solid state Li-ion microbattery
Author(s) :
Létiche, Manon [Auteur]
Freixas, Jeremy [Auteur]
Eustache, Étienne [Auteur]
Demortière, Arnaud [Auteur]
Roussel, Pascal [Auteur]
Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 [UCCS]
Brousse, Thierry [Auteur]
Lethien, Christophe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Freixas, Jeremy [Auteur]
Eustache, Étienne [Auteur]
Demortière, Arnaud [Auteur]
Roussel, Pascal [Auteur]
Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 [UCCS]
Brousse, Thierry [Auteur]
Lethien, Christophe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
11th Japan-France joint seminar on Batteries
City :
Nantes
Country :
France
Start date of the conference :
2016-09
HAL domain(s) :
Chimie/Chimie inorganique
Language :
Anglais
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Administrative institution(s) :
CNRS
Centrale Lille
ENSCL
ISEN
Institut Catholique Lille
Univ. Artois
Univ. Valenciennes
Université de Lille
Centrale Lille
ENSCL
ISEN
Institut Catholique Lille
Univ. Artois
Univ. Valenciennes
Université de Lille
Collections :
Research team(s) :
Matériaux inorganiques, structures, systèmes et propriétés (MISSP)
Submission date :
2019-09-25T15:21:14Z
2019-10-24T10:57:51Z
2019-10-24T10:57:51Z