Atomic Layer deposition of thin films ...
Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Conférence invitée
URL permanente :
Titre :
Atomic Layer deposition of thin films materials for 3D solid state Li-ion microbattery
Auteur(s) :
Létiche, Manon [Auteur]
Freixas, Jeremy [Auteur]
Eustache, Étienne [Auteur]
Demortière, Arnaud [Auteur]
Roussel, Pascal [Auteur]
Brousse, Thierry [Auteur]
Lethien, Christophe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Freixas, Jeremy [Auteur]
Eustache, Étienne [Auteur]
Demortière, Arnaud [Auteur]
Roussel, Pascal [Auteur]
Brousse, Thierry [Auteur]
Lethien, Christophe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
11th Japan-France joint seminar on Batteries
Ville :
Nantes
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2016-9
Discipline(s) HAL :
Chimie/Chimie inorganique
Langue :
Anglais
Audience :
Internationale
Vulgarisation :
Non
Établissement(s) :
CNRS
Centrale Lille
ENSCL
ISEN
Institut Catholique Lille
Univ. Artois
Univ. Valenciennes
Université de Lille
Centrale Lille
ENSCL
ISEN
Institut Catholique Lille
Univ. Artois
Univ. Valenciennes
Université de Lille
Collections :
Équipe(s) de recherche :
Matériaux inorganiques, structures, systèmes et propriétés (MISSP)
Date de dépôt :
2019-09-25T15:21:14Z