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A silicon beam-based microcantilever nanoelectrosprayer
Elsevier, 2007Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...) -
Characterization of in-IC integrable in-plane nanometer scale resonators fabricated by a silicon on nothing advanced CMOS technology
21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2008, 2008, Proceedings of the 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2008, IEEE, Piscataway, NJ, USA, 2008Communication dans un congrès avec actesAutre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)texte intégral -
Silicon nano-ESI emitters for mass spectrometry : a mixed micromechanical and microfluidic design
14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers'07, 2007, Proceedings of the 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers'07, IEEE, Piscataway, NJ, USA, 2007 -
Optimization of ohmic contact and adhesion on polysilicon in MEMS-NEMS wet etching process
Elsevier, 2011Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...) -
SOI-based nanoelectrospray emitter tips for mass spectrometry : a coupled MEMS and microfluidic design
IOP Publishing, 2007Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)texte intégral -
Actionneurs électrostatiques complètement isolés : fabrication, fonctionnement et caractérisation en milieu liquide
Actes du XVIIème Congrès Français de Mécanique, CFM 2005, Troyes, 2005, 2005