Title :

A Suspended Silicon Terahertz platform with low loss waveguide and high Q Photonic Crystal cavities

Author(s) :

Akiki, Elias [Auteur]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THz - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Verstuyft, Mattias [Auteur]
Universiteit Gent = Ghent University [UGENT]
Photonics Research Group
Ducournau, Guillaume [Auteur]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THz - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Walter, Benjamin [Auteur]
Vmicro SAS
Mairiaux, Estelle [Auteur]
Vmicro SAS
Faucher, Marc [Auteur]
Nano and Microsystems - IEMN [NAM6 - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lampin, Jean-Francois [Auteur]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THz - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kuyken, Bart [Auteur]
Universiteit Gent = Ghent University [UGENT]
Photonics Research Group
Vanwolleghem, Mathias [Auteur]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THz - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Conference title :

2019 44th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW-THz)

City :

Paris

Country :

France

Start date of the conference :

2019-09-01

Book title :

2019 44th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW-THz)

Publisher :

IEEE

English keyword(s) :

Optical waveguides
Cavity resonators
Loss measurement
Silicon
Optical losses
Etching
Optical resonators

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Optique / photonique

English abstract : [en]

A high Q optical resonator and ultra-low losses of a silicon suspended waveguide, are experimentally measured and presented, in order to demonstrate the working of a designed photoacoustic terahertz gas sensor presented ...
Show more >A high Q optical resonator and ultra-low losses of a silicon suspended waveguide, are experimentally measured and presented, in order to demonstrate the working of a designed photoacoustic terahertz gas sensor presented in our previous work.Show less >

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Internationale

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL