Title :

Vertical multilayer structures based on porous silicon layers for mid-infrared applications

Author(s) :

Raiah, Warda [Auteur]
Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON [Institut FOTON]
Coffinier, Yannick [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
NanoBioInterfaces - IEMN [NBI - IEMN]
Thomy, Vincent [Auteur]
Bio-Micro-Electro-Mechanical Systems - IEMN [BIOMEMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Duris, Maxime [Auteur]
Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON [Institut FOTON]
Guendouz, Mohammed [Auteur]
Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON [Institut FOTON]
Lorrain, Nathalie [Auteur]
Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON [Institut FOTON]
Pirasteh, Parastesh [Auteur]
Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON [Institut FOTON]
Bodiou, Loïc [Auteur]
Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON [Institut FOTON]
Charrier, Joël [Auteur]
Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON [Institut FOTON]

Journal title :

Optical Materials Express

Pages :

1921-1930

Publisher :

OSA pub

Publication date :

2020-08-01

ISSN :

2159-3930

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]/Optique / photonique

English abstract : [en]

In this work, the fabrication of a porous silicon Bragg reflector and vertical cavity on P+ silicon substrate is investigated for applications in spectroscopic sensing in the mid-infrared (Mid-IR) wavelength range. The ...
Show more >In this work, the fabrication of a porous silicon Bragg reflector and vertical cavity on P+ silicon substrate is investigated for applications in spectroscopic sensing in the mid-infrared (Mid-IR) wavelength range. The complex refractive index of porous silicon layers is measured. Optical vertical devices are then fabricated and characterized by Fourier transform infrared (FTIR) spectrophotometry. This work demonstrates the use of electrochemically prepared Bragg reflectors with reflectance as high as 99% and vertical cavity based on porous silicon layers operating in the mid-IR spectral region (up to 8 µm). Experimental reflectance spectra of the vertical cavity structures are recorded as a function of air exposure duration after thermal annealing under nitrogen flux (N2) and results demonstrate that these structures could be used for spectroscopic sensing applications in the mid-IR (2-8 µm) by grafting specific biomolecules on the porous silicon internal surface.Show less >

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Internationale

Popular science :

Non

ANR Project :

Circuit optique intégré à base matériaux poreux pour la détection de composés organiques volatiles dans le moyen infrarouge

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL