Utilisation du silicium nanostructuré dans un générateur thermoélectrique pour la réduction des pertes thermiques

Abstract

Dans cet article, nous présentons des microgénérateurs thermoélectriques (μTEG) planaires réalisés en technologie Silicium compatible CMOS, et destinés à la récupération de toute forme d’énergie thermique. Ceux-ci utilisent des matériaux faible coût, abondants et respectueux de l’environnement. La captation de la chaleur est effectuée à l’aide d’un concentrateur, en Silicium. La configuration « semi 3D » développée utilise des membranes suspendues et nécessite, pour éviter de les casser, la mise en oeuvre de structures de maintien, appelées bossages. L’objectif de ce travail est d’évaluer l’amélioration des performances de conversion des μTEG résultant de la réduction des pertes thermiques latérales suite à l’anodisation sélective de ces bossages. La simulation thermique de μTEGs intégrant de tels bossages en Si poreux montre que les puissances générées pourront être augmentées jusqu’à 65%.