Utilisation du silicium nanostructuré dans ...
Document type :
Article dans une revue scientifique
Title :
Utilisation du silicium nanostructuré dans un générateur thermoélectrique pour la réduction des pertes thermiques
Author(s) :
Ziouche, Katir [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bel-Hadj, Ibrahim [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bougrioua, Zahia [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bel-Hadj, Ibrahim [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bougrioua, Zahia [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
Entropie : thermodynamique – énergie – environnement – économie
Pages :
10 pages
Publisher :
ISTE OpenScience
Publication date :
2020
ISSN :
2634-1476
Keyword(s) :
energy
microgenerator
thermoelectric
planar
porous silicon
modelling
MOTS-CLÉS. énergie
microgénérateur
thermoélectrique
planaire
silicium poreux
modélisation energy
microgenerator
thermoelectric
planar
porous silicon
modelling
MOTS-CLÉS. énergie
microgénérateur
thermoélectrique
planaire
silicium poreux
modélisation energy
HAL domain(s) :
Physique [physics]
French abstract :
Dans cet article, nous présentons des microgénérateurs thermoélectriques (μTEG) planaires réalisés en technologie Silicium compatible CMOS, et destinés à la récupération de toute forme d’énergie thermique. Ceux-ci utilisent ...
Show more >Dans cet article, nous présentons des microgénérateurs thermoélectriques (μTEG) planaires réalisés en technologie Silicium compatible CMOS, et destinés à la récupération de toute forme d’énergie thermique. Ceux-ci utilisent des matériaux faible coût, abondants et respectueux de l’environnement. La captation de la chaleur est effectuée à l’aide d’un concentrateur, en Silicium. La configuration « semi 3D » développée utilise des membranes suspendues et nécessite, pour éviter de les casser, la mise en oeuvre de structures de maintien, appelées bossages. L’objectif de ce travail est d’évaluer l’amélioration des performances de conversion des μTEG résultant de la réduction des pertes thermiques latérales suite à l’anodisation sélective de ces bossages. La simulation thermique de μTEGs intégrant de tels bossages en Si poreux montre que les puissances générées pourront être augmentées jusqu’à 65%.Show less >
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English abstract : [en]
In this paper, we present a planar thermoelectric microgenerator (μTEG) based on CMOS-compatible silicon technology to harvest all forms of thermal energy. These have made by using low cost, abundant and eco-friendly ...
Show more >In this paper, we present a planar thermoelectric microgenerator (μTEG) based on CMOS-compatible silicon technology to harvest all forms of thermal energy. These have made by using low cost, abundant and eco-friendly materials. The heat harvesting has performed with a silicon concentrator. The developed semi-3D configuration needs safety support called ‘boss’ to avoid the breaking up of the membranes. The objective of this work is to evaluate the improvement of these μTEGs performance resulting from the reduction of lateral heat losses by using selective anodizing of these bosses. The thermal modeling of μTEGs embedding porous silicon bosses shows an increase in output power up to 65%.Show less >
Show more >In this paper, we present a planar thermoelectric microgenerator (μTEG) based on CMOS-compatible silicon technology to harvest all forms of thermal energy. These have made by using low cost, abundant and eco-friendly materials. The heat harvesting has performed with a silicon concentrator. The developed semi-3D configuration needs safety support called ‘boss’ to avoid the breaking up of the membranes. The objective of this work is to evaluate the improvement of these μTEGs performance resulting from the reduction of lateral heat losses by using selective anodizing of these bosses. The thermal modeling of μTEGs embedding porous silicon bosses shows an increase in output power up to 65%.Show less >
Language :
Français
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Nationale
Popular science :
Non
Source :
Files
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