Title :

Development of Highly Sensitive Niobium Nitride Resistive Thermal Probes for Nanoscale Thermal Microscopy

Author(s) :

Swami, R. [Auteur]
Thermodynamique et biophysique des petits systèmes [NEEL - TPS]
Paterson, J. [Auteur]
Thermodynamique et biophysique des petits systèmes [NEEL - TPS]
Singhal, D. [Auteur]
Thermodynamique et biophysique des petits systèmes [NEEL - TPS]
Julié, G. [Auteur]
Nanofabrication [NEEL - Nanofab]
Le Denmat, S. [Auteur]
Optique & Microscopies [NEEL - POM]
Motte, J.-F. [Auteur]
Nanofabrication [NEEL - Nanofab]
Alkurdi, A. [Auteur]
Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon [CETHIL]
Yin, J. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Robillard, J.F. [Auteur]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Chapuis, P.-O. [Auteur]
Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon [CETHIL]
Gomes, S. [Auteur]
Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon [CETHIL]
Bourgeois, Olivier [Auteur]
Thermodynamique et biophysique des petits systèmes [NEEL - TPS]

Conference title :

E-MRS Fall Meeting Symposium "Nanomaterials thermal transport properties and nanothermodynamics"

City :

Varsovie

Country :

Pologne

Start date of the conference :

2019-09-18

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]/Mécanique [physics.med-ph]/Thermique [physics.class-ph]

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Internationale

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL