Variation of absorption coefficient and ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
DOI :
Title :
Variation of absorption coefficient and determination of critical dose of SU-8 at 365 nm
Author(s) :
Gaudet, Matthieu [Auteur]
Camart, Jean-Christophe [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Arscott, Steve [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Camart, Jean-Christophe [Auteur]

Buchaillot, Lionel [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Arscott, Steve [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
Applied Physics Letters
Pages :
024107
Publisher :
American Institute of Physics
Publication date :
2006-01-09
ISSN :
0003-6951
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :