High-GF planar aluminium-silicon hybrid ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
High-GF planar aluminium-silicon hybrid strain transducers
Author(s) :
Rowe, A.C.H. [Auteur]
Laboratoire de physique de la matière condensée [LPMC]
Renner, C. [Auteur]
Arscott, Steve [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Laboratoire de physique de la matière condensée [LPMC]
Renner, C. [Auteur]
Arscott, Steve [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems. Transducers 2009
City :
Denver
Country :
Etats-Unis d'Amérique
Start date of the conference :
2009-06-21
Publisher :
IEEE
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Source :