Optical actuation of microelectromechanical systems using photoelectrowetting

Document type :

Compte-rendu et recension critique d'ouvrage

DOI :

10.1063/1.4723569

Title :

Optical actuation of microelectromechanical systems using photoelectrowetting

Author(s) :

Gaudet, Matthieu [Auteur]
Arscott, Steve [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Journal title :

Applied Physics Letters

Pages :

224103

Publisher :

American Institute of Physics

Publication date :

2012-05-28

ISSN :

0003-6951

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Language :

Anglais

Popular science :

Non

Collections :

Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL

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