Integrated MEMS RF Probe for SEM Station—Pad ...

Document type :
Article dans une revue scientifique
DOI :
10.1109/LMWC.2015.2463213
Title :
Integrated MEMS RF Probe for SEM Station—Pad Size and Parasitic Capacitance Reduction
Author(s) :
El Fellahi, A. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Haddadi, Kamel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Marzouk, J. [Auteur]
Arscott, S. [Auteur]
Nano and Microsystems - IEMN [NAM6 - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Boyaval, Christophe [Auteur]
Lasri, T. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dambrine, Gilles [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
IEEE Microwave and Wireless Components Letters
Pages :
693-695
Publisher :
Institute of Electrical and Electronics Engineers
Publication date :
2015-10
ISSN :
1531-1309
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL