Title :

Triangular nanoperforation and band engineering of InGaAs quantum wells: a lithographic route toward Dirac cones in III–V semiconductors

Author(s) :

Post, L [Auteur]
Debye Institute for Nanomaterials Science
Xu, Tao [Auteur]
Physique - IEMN [PHYSIQUE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Franchina Vergel, N [Auteur]
Physique - IEMN [PHYSIQUE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Tadjine, A. [Auteur]
Physique - IEMN [PHYSIQUE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lambert, Yannick [Auteur]
Physique - IEMN [PHYSIQUE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vaurette, Francois [Auteur]
Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN [CMNF - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Yarekha, Dmitri [Auteur]
Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN [CMNF - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Desplanque, Ludovic [Auteur]
EPItaxie et PHYsique des hétérostructures - IEMN [EPIPHY - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Stievenard, D. [Auteur]
Physique - IEMN [PHYSIQUE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Wallart, Xavier [Auteur]
EPItaxie et PHYsique des hétérostructures - IEMN [EPIPHY - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Grandidier, Bruno [Auteur]
Physique - IEMN [PHYSIQUE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Delerue, Christophe [Auteur]
Physique - IEMN [PHYSIQUE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vanmaekelbergh, D. [Auteur]
Physique - IEMN [PHYSIQUE - IEMN]
Debye Institute for Nanomaterials Science

Journal title :

Nanotechnology

Pages :

155301

Publisher :

Institute of Physics

Publication date :

2019-04-12

ISSN :

0957-4484

English keyword(s) :

InGaAs quantum well
honeycomb semiconductor
dirac cone
electron beam lithography
band structure engineering
lattice disorder

HAL domain(s) :

Physique [physics]
Physique [physics]/Matière Condensée [cond-mat]

English abstract : [en]

The design of two-dimensional periodic structures at the nanoscale has renewed attention for band structure engineering. Here, we investigate the nanoperforation of InGaAs quantum wells epitaxially grown on InP substrates ...
Show more >The design of two-dimensional periodic structures at the nanoscale has renewed attention for band structure engineering. Here, we investigate the nanoperforation of InGaAs quantum wells epitaxially grown on InP substrates using high-resolution e-beam lithography and highly plasma based dry etching. We report on the fabrication of a honeycomb structure with an effective lattice constant down to 23 nm by realising triangular antidot lattice with an ultimate periodicity of 40 nm in a 10 nm thick InGaAs quantum well on a p-type InP. The quality of the honeycomb structures is discussed in detail, and calculations show the possibility to measure Dirac physics in these type of samples. Based on the statistical analysis of the fluctuations in pore size and periodicity, calculations of the band structure are performed to assess the robustness of the Dirac cones with respect to distortions of the honeycomb lattice.Show less >

Language :

Anglais

Popular science :

Non

ANR Project :

Super-réseau d'antipoints de Dirac pour les électrons dans les semiconducteurs III-V
Centre expérimental pour l'étude des propriétés des nanodispositifs dans un large spectre du DC au moyen Infra-rouge.

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL