Characterization of sub-10nm-scale capacitors ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Characterization of sub-10nm-scale capacitors and tunnel junctions by SMM coupled to RF interferometry
Author(s) :
Wang, Fei [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
DUCATTEAU, Damien [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Troadec, David [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Tanbakuchi, Hassan [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Équipe Microsystèmes électromécaniques [LAAS-MEMS]
Dambrine, Gilles [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Nicolas, Clément [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Théron, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
DUCATTEAU, Damien [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Troadec, David [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Tanbakuchi, Hassan [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Équipe Microsystèmes électromécaniques [LAAS-MEMS]
Dambrine, Gilles [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Nicolas, Clément [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Théron, Didier [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
European Conference on Electrical Measurements at the Nanoscale Using AFM
City :
Cambridge
Country :
Royaume-Uni
Start date of the conference :
2014-06-23
Publication date :
2014-06
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Source :