Atomic Layer Deposition of Functional ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
DOI :
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Title :
Atomic Layer Deposition of Functional Layers for on Chip 3D Li-Ion All Solid State Microbattery
Author(s) :
Létiche, Manon [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Eustache, Etienne [Auteur]
Institut des Matériaux Jean Rouxel [IMN]
Freixas, Jeremy [Auteur]
Demortière, Arnaud [Auteur]
Laboratoire réactivité et chimie des solides - UMR CNRS 7314 UPJV [LRCS]
De Andrade, Vincent [Auteur]
Laboratoire Educations et Pratiques de Santé [LEPS]
Morgenroth, Laurence [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Tilmant, Pascal [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vaurette, Francois [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Troadec, david [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Roussel, Pascal [Auteur]
Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 [UCCS]
Brousse, Thierry [Auteur]
Tokyo University of Agriculture and Technology [TUAT]
Lethien, Christophe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Eustache, Etienne [Auteur]
Institut des Matériaux Jean Rouxel [IMN]
Freixas, Jeremy [Auteur]
Demortière, Arnaud [Auteur]
Laboratoire réactivité et chimie des solides - UMR CNRS 7314 UPJV [LRCS]
De Andrade, Vincent [Auteur]
Laboratoire Educations et Pratiques de Santé [LEPS]
Morgenroth, Laurence [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Tilmant, Pascal [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vaurette, Francois [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Troadec, david [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Roussel, Pascal [Auteur]

Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 [UCCS]
Brousse, Thierry [Auteur]
Tokyo University of Agriculture and Technology [TUAT]
Lethien, Christophe [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Publisher :
Wiley-VCH Verlag
Publication date :
2017-01
HAL domain(s) :
Physique [physics]/Matière Condensée [cond-mat]/Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Source :
Submission date :
2021-07-27T11:56:54Z