Title :

Thermal Conductivity Reduction in Fully Suspended and Periodically Patterned Membranes Measured by Electro-Thermal Method

Author(s) :

Lacatena, V. [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Haras, M. [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Robillard, J.F. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Skotnicki, T. [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
DUBOIS, Emmanuel [Auteur]
PHysicochimie des Electrolytes et Nanosystèmes InterfaciauX [PHENIX]
Massoud, M. [Auteur]
INL - Spectroscopies et Nanomatériaux [INL - S&N]
Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon [CETHIL]
Chapuis, P.-O. [Auteur]
Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon [CETHIL]
Bluet, J.M. [Auteur]
INL - Spectroscopies et Nanomatériaux [INL - S&N]
Scibetta, A. [Auteur]

Conference title :

MRS Fall meeting, Symposium II on “Phonons”

City :

Boston

Country :

Etats-Unis d'Amérique

Start date of the conference :

2015-11-29

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]/Mécanique [physics.med-ph]/Thermique [physics.class-ph]

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Internationale

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL