Actuation and sensing integration challenges ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Actuation and sensing integration challenges at the microscale: the Gordian Knot of the resonant BioMEMS realm
Author(s) :
Nicu, Liviu [Auteur]
Équipe NanoBioSystèmes [LAAS-NBS]
Alava, Thomas [Auteur]
Équipe NanoBioSystèmes [LAAS-NBS]
Mathieu, Fabrice [Auteur]
Équipe NanoBioSystèmes [LAAS-NBS]
Ayela, Cédric [Auteur]
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système [IMS]
Soyer, Caroline [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Équipe NanoBioSystèmes [LAAS-NBS]
Alava, Thomas [Auteur]
Équipe NanoBioSystèmes [LAAS-NBS]
Mathieu, Fabrice [Auteur]
Équipe NanoBioSystèmes [LAAS-NBS]
Ayela, Cédric [Auteur]
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système [IMS]
Soyer, Caroline [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
2010 IEEE International Frequency Control Symposium
City :
San Francisco
Country :
Etats-Unis d'Amérique
Start date of the conference :
2010
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Source :