Title :

Phononic crystals patterning by e-beam lithography "dots on the fly" methodology for integration into thermoelectric energy converters

Author(s) :

Lacatena, Valeria [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Haras, Maciej [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Robillard, J.F. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Monfray, Stéphane [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Skotnicki, Thomas [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Conference title :

17èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-Nanoélectronique, JNRDM 2014

City :

Villeneuve d'Ascq

Country :

France

Start date of the conference :

2014

Book title :

Actes des 17èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-Nanoélectronique, JNRDM 2014

Publication date :

2014

English abstract : [en]

A phononic engineered pattern is conceptualized and realized to hinder the phonons propagation and reduce the lattice thermal conductivity. The pattern fabrication methodology is shown and the procedure of integration on ...
Show more >A phononic engineered pattern is conceptualized and realized to hinder the phonons propagation and reduce the lattice thermal conductivity. The pattern fabrication methodology is shown and the procedure of integration on suspended membrane for thermal conductivity characterization is depicted. The expected experimental trends are expected to be justified and supported by thermal conductivity measurements and molecular dynamic simulations.Show less >

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL