Phononic crystals patterning by e-beam ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Phononic crystals patterning by e-beam lithography "dots on the fly" methodology for integration into thermoelectric energy converters
Author(s) :
Lacatena, Valeria [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Haras, Maciej [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Robillard, J.F. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Monfray, Stéphane [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Skotnicki, Thomas [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Haras, Maciej [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Robillard, J.F. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Monfray, Stéphane [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Skotnicki, Thomas [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
17èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-Nanoélectronique, JNRDM 2014
City :
Villeneuve d'Ascq
Country :
France
Start date of the conference :
2014
Book title :
Actes des 17èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-Nanoélectronique, JNRDM 2014
Publication date :
2014
English abstract : [en]
A phononic engineered pattern is conceptualized and realized to hinder the phonons propagation and reduce the lattice thermal conductivity. The pattern fabrication methodology is shown and the procedure of integration on ...
Show more >A phononic engineered pattern is conceptualized and realized to hinder the phonons propagation and reduce the lattice thermal conductivity. The pattern fabrication methodology is shown and the procedure of integration on suspended membrane for thermal conductivity characterization is depicted. The expected experimental trends are expected to be justified and supported by thermal conductivity measurements and molecular dynamic simulations.Show less >
Show more >A phononic engineered pattern is conceptualized and realized to hinder the phonons propagation and reduce the lattice thermal conductivity. The pattern fabrication methodology is shown and the procedure of integration on suspended membrane for thermal conductivity characterization is depicted. The expected experimental trends are expected to be justified and supported by thermal conductivity measurements and molecular dynamic simulations.Show less >
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :