Conception, réalisation et test d'un ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Conception, réalisation et test d'un micro-capteur de pression Pirani pour un fonctionnement au voisinage de la pression atmosphérique
Author(s) :
Moutaoukiel, Mohammed [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Talbi, Abdelkrim [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Viard, Romain [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Gerbedoen, Jean-Claude [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Elmazria, O. [Auteur]
Institut Jean Lamour [IJL]
Okada, Etienne [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Merlen, Alain [Auteur]
ONERA - The French Aerospace Lab [Palaiseau]
Pernod, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Talbi, Abdelkrim [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Viard, Romain [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Gerbedoen, Jean-Claude [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Elmazria, O. [Auteur]
Institut Jean Lamour [IJL]
Okada, Etienne [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Merlen, Alain [Auteur]

ONERA - The French Aerospace Lab [Palaiseau]
Pernod, Philippe [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
17èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-Nanoélectronique, JNRDM 2014
City :
Villeneuve d'Ascq
Country :
France
Start date of the conference :
2014
Publication date :
2014
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
French abstract :
Cette étude concerne la conception, la réalisation et le test d'un micro-capteur de pression basé sur l'effet Pirani. La structure consiste en un fil chaud suspendu par des ponts d'oxyde de proche en proche sur des cavités ...
Show more >Cette étude concerne la conception, la réalisation et le test d'un micro-capteur de pression basé sur l'effet Pirani. La structure consiste en un fil chaud suspendu par des ponts d'oxyde de proche en proche sur des cavités de taille nanométrique. Cela permet d'obtenir une dynamique au voisinage de la pression atmosphérique. Dans cette étude, nous présenterons les résultats expérimentaux confrontés à des résultats théoriques obtenues par simulation élément fini multiphysique.Show less >
Show more >Cette étude concerne la conception, la réalisation et le test d'un micro-capteur de pression basé sur l'effet Pirani. La structure consiste en un fil chaud suspendu par des ponts d'oxyde de proche en proche sur des cavités de taille nanométrique. Cela permet d'obtenir une dynamique au voisinage de la pression atmosphérique. Dans cette étude, nous présenterons les résultats expérimentaux confrontés à des résultats théoriques obtenues par simulation élément fini multiphysique.Show less >
Language :
Français
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :