[Invited] A microwave induced remote ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
[Invited] A microwave induced remote afterglow reactor for the deposition of organosilicon plasma polymers
Author(s) :
Curley, Garrett [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
Workshop on Nanoscale Processing for MEMS and NEMS
City :
Villeneuve d'Ascq
Country :
France
Start date of the conference :
2014
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :