Towards a new generation of MEMS-based AFM probes

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Towards a new generation of MEMS-based AFM probes
Author(s) :
Xiong, Z. [Auteur]
Walter, B. [Auteur]
Mairiaux, E. [Auteur]
Faucher, Marc [Auteur] refId
Buchaillot, Lionel [Auteur] refId
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
International Scanning Probe Microscopy Conference, ISPM 2013
City :
Dijon
Country :
France
Start date of the conference :
2013
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL