Fast slot characterization using laser ...
Document type :
Article dans une revue scientifique
Title :
Fast slot characterization using laser ultrasonics and mode conversion
Author(s) :
Faëse, F. [Auteur]
Jenot, Frédéric [Auteur]
Ouaftouh, Mohammadi [Auteur]
Duquennoy, Marc [Auteur]
Ourak, Mohamed [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Jenot, Frédéric [Auteur]
Ouaftouh, Mohammadi [Auteur]
Duquennoy, Marc [Auteur]
Ourak, Mohamed [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
Measurement Science and Technology
Pages :
095602, 7 pages
Publisher :
IOP Publishing
Publication date :
2013
ISSN :
0957-0233
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :