Title :

Modeling of MEMS resonator piezoelectric disc by means of an equicharge current source method

Author(s) :

Elmaimouni, L. [Auteur]
Ratolojanahary, F.E. [Auteur]
Lefebvre, Jean-Etienne [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Yu, J.G. [Auteur]
Raherison, A. [Auteur]
Gryba, Tadeusz [Auteur]

Journal title :

Ultrasonics

Pages :

1270-1279

Publisher :

Elsevier

Publication date :

2013

ISSN :

0041-624X

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL