Fabrication of silicon nanostructures using ...

Document type :
Article dans une revue scientifique
DOI :
10.1002/pssa.201330035
Title :
Fabrication of silicon nanostructures using metal-assisted etching in NaBF4
Author(s) :
Nguyen, N.T.P. [Auteur]
Coffinier, Yannick [Auteur] refId
Thomy, Vincent [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Boukherroub, Rabah [Auteur] refId
Journal title :
physica status solidi (a)
Pages :
2178-2182
Publisher :
Wiley
Publication date :
2013
ISSN :
0031-8965
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
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