Piezoresistive ring-shaped AFM sensors ...

Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
DOI :
10.4018/ijimr.2013010104
Titre :
Piezoresistive ring-shaped AFM sensors with pico-newton force resolution
Auteur(s) :
Xiong, Z. [Auteur]
Walter, B. [Auteur]
Mairiaux, E. [Auteur]
Faucher, Marc [Auteur] refId
Buchaillot, Lionel [Auteur] refId
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la revue :
International Journal of Intelligent Mechatronics and Robotics
Pagination :
38-52
Date de publication :
2013
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL