Piezoelectric microtransformer based on ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Piezoelectric microtransformer based on SOI structure
Author(s) :
Vasic, Dejan [Auteur]
Systèmes et Applications des Technologies de l'Information et de l'Energie [SATIE]
Sarraute, Emmanuel [Auteur]
Systèmes et Applications des Technologies de l'Information et de l'Energie [SATIE]
Costa, François [Auteur]
Systèmes et Applications des Technologies de l'Information et de l'Energie [SATIE]
Sangouard, Patrick [Auteur]
Electronique, Systèmes de communication et Microsystèmes [ESYCOM]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Systèmes et Applications des Technologies de l'Information et de l'Energie [SATIE]
Sarraute, Emmanuel [Auteur]
Systèmes et Applications des Technologies de l'Information et de l'Energie [SATIE]
Costa, François [Auteur]
Systèmes et Applications des Technologies de l'Information et de l'Energie [SATIE]
Sangouard, Patrick [Auteur]
Electronique, Systèmes de communication et Microsystèmes [ESYCOM]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
MME 2003
City :
Delft
Country :
Pays-Bas
Start date of the conference :
2003-11
Book title :
In proceedings of Micromechanics Europe 2003 (MME 2003)
Publication date :
2003-11
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]/Energie électrique
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Source :