Titre :

In situ silicon-integrated tuner for automated on-wafer mmW noise parameters extraction using multi-impedance method for transistor characterization

Auteur(s) :

Tagro, Y. [Auteur]
Waldhoff, N. [Auteur]
Gloria, D. [Auteur]
Boret, S. [Auteur]
Dambrine, Gilles [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Titre de la revue :

IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing

Pagination :

170-177

Éditeur :

Institute of Electrical and Electronics Engineers

Date de publication :

2012

ISSN :

0894-6507

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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