In situ silicon-integrated tuner for ...
Type de document :
Article dans une revue scientifique
DOI :
Titre :
In situ silicon-integrated tuner for automated on-wafer mmW noise parameters extraction using multi-impedance method for transistor characterization
Auteur(s) :
Tagro, Y. [Auteur]
Waldhoff, N. [Auteur]
Gloria, D. [Auteur]
Boret, S. [Auteur]
Dambrine, Gilles [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Waldhoff, N. [Auteur]
Gloria, D. [Auteur]
Boret, S. [Auteur]
Dambrine, Gilles [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la revue :
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
Pagination :
170-177
Éditeur :
Institute of Electrical and Electronics Engineers
Date de publication :
2012
ISSN :
0894-6507
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :