5.4 MHz dog-bone oscillating AFM probe ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
5.4 MHz dog-bone oscillating AFM probe with thermal actuation and piezoresistive detection
Auteur(s) :
Xiong, Z. [Auteur]
Mairiaux, E. [Auteur]
Walter, B. [Auteur]
Faucher, Marc [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Mairiaux, E. [Auteur]
Walter, B. [Auteur]
Faucher, Marc [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2013
Ville :
Taipei
Pays :
Taïwan
Date de début de la manifestation scientifique :
2013
Titre de l’ouvrage :
Proceedings of 26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2013
Date de publication :
2013
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :