Unbalanced RF magnetron sputtering of thin ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Unbalanced RF magnetron sputtering of thin hexagonal boron nitride films
Author(s) :
Ben Moussa, B. [Auteur]
d'Haen, J. [Auteur]
Borschel, C. [Auteur]
Saitner, M. [Auteur]
Soltani, Ali [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Mortet, V. [Auteur]
Ronning, C. [Auteur]
d'Olieslaeger, M. [Auteur]
Boyen, H. [Auteur]
Haenen, K. [Auteur]
Conference title :
4th International Conference on New Diamond and Nano Carbons, NDNC 2010
City :
Suzhou
Country :
Chine
Start date of the conference :
2010
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL