Atomic force probe using silicon ring ...
Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Atomic force probe using silicon ring resonator conception
Auteur(s) :
Walter, B. [Auteur]
Mairiaux, E. [Auteur]
Faucher, Marc [Auteur]
Xiong, Z. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Mairiaux, E. [Auteur]
Faucher, Marc [Auteur]
Xiong, Z. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
5èmes Journées Nationales du GDR Micro et Nano Systèmes
Ville :
Lyon
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2010
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :