[Invité] Intégration de nouveaux matériaux ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
[Invité] Intégration de nouveaux matériaux actifs dans les MEMS
Author(s) :
Pernod, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
5èmes Journées Nationales du GdR Micro et Nano Systèmes
City :
Ecully
Country :
France
Start date of the conference :
2010
Language :
Français
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL