Titre :

Etude du transport du TMDSO en présence d'une post-décharge d'un plasma d'azote en écoulement

Auteur(s) :

Abou Rich, S. [Auteur]
Vivien, Celine [Auteur]
Supiot, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Titre de la manifestation scientifique :

XIIIème Congrès de la Société Française de Génie des Procédés, SFGP 2011

Ville :

Lille

Pays :

France

Date de début de la manifestation scientifique :

2011

Titre de l’ouvrage :

Récents Progrès en Génie des Procédés, 101

Date de publication :

2011

Langue :

Français

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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