Electrode size effect under PFM characterization ...

Document type :
Communication dans un congrès avec actes
DOI :
10.1109/ISAF.2011.6014002
Title :
Electrode size effect under PFM characterization of PZT-film on silicon structures with micro- and nanometric top electrodes
Author(s) :
Bravina, S.L. [Auteur]
Morozovsky, N.V. [Auteur]
Eliseev, E.A. [Auteur]
Morozovska, A.N. [Auteur]
Costecalde, J. [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Deresmes, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
Joint 20th IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics and 2011 International Symposium on Piezoresponse Force Microscopy and Nanoscale Phenomena in Polar Materials, ISAF-PFM-2011
City :
Vancouver
Country :
Canada
Start date of the conference :
2011
Book title :
Proceedings of Joint 20th IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics and 2011 International Symposium on Piezoresponse Force Microscopy and Nanoscale Phenomena in Polar Materials, ISAF-PFM-2011
Publication date :
2011
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL