Conception and fabrication of silicon ring ...

Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Conception and fabrication of silicon ring resonator with piezo-resistive detection for force sensing applications
Author(s) :
Xiong, Z. [Auteur]
Walter, B. [Auteur]
Mairiaux, E. [Auteur]
Faucher, Marc [Auteur] refId
Buchaillot, Lionel [Auteur] refId
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
ASME 2011 International Mechanical Engineering Congress & Exposition, IMECE 2011
City :
Denver, CO
Country :
Etats-Unis d'Amérique
Start date of the conference :
2011
Book title :
Proceedings of the ASME 2011 International Mechanical Engineering Congress & Exposition, IMECE 2011
Publication date :
2011
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL