Lead zirconate titanate nanoscale patterning ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
DOI :
Title :
Lead zirconate titanate nanoscale patterning by ultraviolet-based lithography lift-off technique for nano-electromechanical system applications
Author(s) :
Guillon, S. [Auteur]
Saya, Daisuke [Auteur]
Mazenq, L. [Auteur]
Costecalde, J. [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Soyer, Caroline [Auteur]
Nicu, Liviu [Auteur]
Saya, Daisuke [Auteur]
Mazenq, L. [Auteur]
Costecalde, J. [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Soyer, Caroline [Auteur]

Nicu, Liviu [Auteur]
Journal title :
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control
Pages :
1955-1961
Publisher :
Institute of Electrical and Electronics Engineers
Publication date :
2012
ISSN :
0885-3010
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :