One port contour-mode ZnO piezoelectric ...

Document type :
Article dans une revue scientifique
DOI :
10.1016/j.mee.2011.04.062
Title :
One port contour-mode ZnO piezoelectric MEMS resonator
Author(s) :
Gryba, Tadeusz [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Carlier, Julien [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Wang, S.X. [Auteur]
Zhao, X.Z. [Auteur]
Guo, S. [Auteur]
Lefebvre, Jean-Etienne [Auteur]
Journal title :
MICROELECTRONIC ENGINEERING
Pages :
3003-3010
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2011
ISSN :
0167-9317
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
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