Molecular dynamics simulation for advanced ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Molecular dynamics simulation for advanced silicon recrystallization effect
Author(s) :
Krzeminski, Christophe [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lampin, E. [Auteur]
Conference title :
European Materials Research Society Spring Meeting, E-MRS Spring 2009, Symposium I : Silicon and Germanium issues for future CMOS devices
City :
Strasbourg
Country :
France
Start date of the conference :
2009
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL