Molecular dynamics simulation for advanced ...
Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Molecular dynamics simulation for advanced silicon recrystallization effect
Auteur(s) :
Krzeminski, Christophe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lampin, E. [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lampin, E. [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
European Materials Research Society Spring Meeting, E-MRS Spring 2009, Symposium I : Silicon and Germanium issues for future CMOS devices
Ville :
Strasbourg
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2009
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :