Formation mechanisms of femtosecond laser ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Formation mechanisms of femtosecond laser induced spike structures on silicon : numerical study and TEM experiments
Author(s) :
Derrien, T.J.Y. [Auteur]
Torres, R. [Auteur]
Itina, T.E. [Auteur]
Tokarev, V.N. [Auteur]
Halbwax, Mathieu [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Sentis, M. [Auteur]
Sarnet, T. [Auteur]
Torres, R. [Auteur]
Itina, T.E. [Auteur]
Tokarev, V.N. [Auteur]
Halbwax, Mathieu [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Sentis, M. [Auteur]
Sarnet, T. [Auteur]
Conference title :
European Materials Research Society Spring Meeting, E-MRS Spring 2010, Symposium R : Laser processing and diagnostics for micro and nano applications
City :
Strasbourg
Country :
France
Start date of the conference :
2010
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :