Simulation de dépôt/infiltration chimique ...

Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Simulation de dépôt/infiltration chimique basée sur des images 3D : approche locale
Author(s) :
Ros, W. [Auteur]
Vignoles, G.L. [Auteur]
Germain, C. [Auteur]
Supiot, P. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
MATERIAUX 2010, Conférence pluridisciplinaire sur les matériaux
Country :
France
Start date of the conference :
2010
Book title :
Actes de MATERIAUX 2010, Conférence pluridisciplinaire sur les matériaux
Publisher :
_
Publication date :
2010
Language :
Français
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL