Contribution à l'étude de techniques de ...

Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Contribution à l'étude de techniques de siliciuration avancées pour les technologies CMOS décananométriques
Author(s) :
Breil, Nicolas [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Publication date :
2009
Language :
Français
Collections :
Source :
Harvested from HAL