Développement de résonateurs électromécaniques ...
Type de document :
Partie d'ouvrage
Titre :
Développement de résonateurs électromécaniques en technologie Silicon On Nothing, à détection capacitive et amplifiée par transistor MOS, en vue d'une co-intégration permettant d'adresser une application de référence de temps
Auteur(s) :
Durand, Cédric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Date de publication :
2009
Langue :
Français
Audience :
Non spécifiée
Source :