Synthèse et caractérisation de silicium ...
Document type :
Partie d'ouvrage
Title :
Synthèse et caractérisation de silicium cristallin par croissance vapeur liquide solide (VLS) pour l'intégration en trois dimensions (3D) séquentielle de transistors MOS
Author(s) :
Lecestre, Aurélie [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Publication date :
2010
Language :
Français
Audience :
Non spécifiée
Source :