Surface microscopy with laserless MEMS ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Surface microscopy with laserless MEMS based AFM probes
Auteur(s) :
Algre, Emmanuelle [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Faucher, Marc [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Walter, Benjamin [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vmicro SAS
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Faucher, Marc [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Walter, Benjamin [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vmicro SAS
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
23rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2010
Ville :
Hong Kong
Pays :
Chine
Date de début de la manifestation scientifique :
2010-01-24
Titre de l’ouvrage :
Proceedings of the 23rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2010
Éditeur :
_
Date de publication :
2010
Mot(s)-clé(s) en anglais :
Surface emitting lasers
Atomic force microscopy
Micromechanical devices
Probes
Ring lasers
Silicon
Force measurement
Atomic beams
Optical ring resonators
Transducers
Atomic force microscopy
Micromechanical devices
Probes
Ring lasers
Silicon
Force measurement
Atomic beams
Optical ring resonators
Transducers
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Résumé en anglais : [en]
We report here on results of AFM microscopy using laserless MEMS based probes. This new concept of atomic force microscope (AFM) probes using bulk-mode silicon resonators was previously presented [1]. They consist on silicon ...
Lire la suite >We report here on results of AFM microscopy using laserless MEMS based probes. This new concept of atomic force microscope (AFM) probes using bulk-mode silicon resonators was previously presented [1]. They consist on silicon ring resonators with capacitive transducers and integrated sensing nanotip. We have also demonstrated that these probes are sensitive to nanoscale tip-surface interactions [2], paving the way for AFM imaging. We describe here probes fabrication and their implementation on a Veeco commercial AFM microscope. Force curve measurements are realized in order to set the experimental conditions for AFM operation. For the first time, AFM microscopy images using these laserless MEMS based AFM probes are presentedLire moins >
Lire la suite >We report here on results of AFM microscopy using laserless MEMS based probes. This new concept of atomic force microscope (AFM) probes using bulk-mode silicon resonators was previously presented [1]. They consist on silicon ring resonators with capacitive transducers and integrated sensing nanotip. We have also demonstrated that these probes are sensitive to nanoscale tip-surface interactions [2], paving the way for AFM imaging. We describe here probes fabrication and their implementation on a Veeco commercial AFM microscope. Force curve measurements are realized in order to set the experimental conditions for AFM operation. For the first time, AFM microscopy images using these laserless MEMS based AFM probes are presentedLire moins >
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :