Silicon wafer characterisation by laser ...
Document type :
Article dans une revue scientifique: Article original
Title :
Silicon wafer characterisation by laser ultrasonics and neural networks
Author(s) :
Lefevre, F. [Auteur]
Jenot, Frederic [Auteur]
Ouaftouch, Mohammadi [Auteur]
Duquennoy, Marc [Auteur]
Ourak, Mohamed [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Jenot, Frederic [Auteur]

Ouaftouch, Mohammadi [Auteur]
Duquennoy, Marc [Auteur]

Ourak, Mohamed [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
Journal of Physics: Conference Series
Pages :
012042 -1-5
Publisher :
IOP Science
Publication date :
2010
ISSN :
1742-6588
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :
Files
- https://doi.org/10.1088/1742-6596/214/1/012042
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