Realization of vertical silicon nanowire ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
DOI :
10.1166/jnn.2010.2841
Permalink :
http://hdl.handle.net/20.500.12210/49791
Title :
Realization of vertical silicon nanowire networks with an ultra high density using a top-down approach
Author(s) :
Han, X.L. [Auteur]
Larrieu, G. [Auteur]
Dubois, E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Publisher :
American Scientific Publishers
Publication date :
2010
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
Submission date :
2021-07-27T18:11:12Z