Title :

Laser generated guided waves and finite element modeling for the thickness gauging of thin layers

Author(s) :

Lefevre, F. [Auteur]
Jenot, Frédéric [Auteur]
Ouaftouh, Mohammadi [Auteur]
Duquennoy, Marc [Auteur]
Ourak, Mohamed [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Journal title :

Review of Scientific Instruments

Pages :

034901-1-5

Publisher :

American Institute of Physics

Publication date :

2010

ISSN :

0034-6748

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL