Titre :

Micromachining SU-8 pivot structures using AZ photoresist as direct sacrificial layers for a large wing displacement

Auteur(s) :

Bao, X.Q. [Auteur]
Dargent, T. [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Éditeur :

IOP Publishing

Date de publication :

2010

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL

Date de dépôt :

2021-07-27T18:13:04Z