Design, fabrication and physical analysis ...
Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
URL permanente :
Titre :
Design, fabrication and physical analysis of TiN/AlN deep UV photodiodes
Auteur(s) :
Barkad, H.A. [Auteur]
Soltani, A. [Auteur]
Mattalah, M. [Auteur]
Gerbedoen, J.C. [Auteur]
Rousseau, M [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
De Jaeger, J.C. [Auteur]
Benmoussa, A. [Auteur]
Mortet, V. [Auteur]
Haenen, K. [Auteur]
Benbakhti, B. [Auteur]
Moreau, M. [Auteur]
Dupuis, R. [Auteur]
Ougazzaden, A. [Auteur]
Soltani, A. [Auteur]
Mattalah, M. [Auteur]
Gerbedoen, J.C. [Auteur]
Rousseau, M [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
De Jaeger, J.C. [Auteur]
Benmoussa, A. [Auteur]
Mortet, V. [Auteur]
Haenen, K. [Auteur]
Benbakhti, B. [Auteur]
Moreau, M. [Auteur]
Dupuis, R. [Auteur]
Ougazzaden, A. [Auteur]
Éditeur :
IOP Publishing
Date de publication :
2010
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :
Date de dépôt :
2021-07-27T18:16:27Z
Fichiers
- https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00569746/file/PEER_stage2_10.1088%252F0022-3727%252F43%252F46%252F465104.pdf
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