A single layer hydrogen silsesquioxane ...
Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
URL permanente :
Titre :
A single layer hydrogen silsesquioxane (HSQ) based lift-off process for germanium and platinum
Auteur(s) :
Passi, V. [Auteur]
Lecestre, Aurélie [Auteur]
Krzeminski, C. [Auteur]
Larrieu, G. [Auteur]
Dubois, E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Raskin, J.P. [Auteur]
Lecestre, Aurélie [Auteur]
Krzeminski, C. [Auteur]
Larrieu, G. [Auteur]
Dubois, E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Raskin, J.P. [Auteur]
Éditeur :
Elsevier
Date de publication :
2010
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :
Date de dépôt :
2021-07-27T18:23:01Z
Fichiers
- http://arxiv.org/pdf/1109.5187
- Accès libre
- Accéder au document